雙電測四探針測試儀/四探針檢測儀/四探針電阻率測試儀/四探針電阻率檢測儀/四探針方塊電阻儀 型號(hào)：GR-RTS-5(SDY-5停產(chǎn)替代）

GR-RTS-5型雙電測四探針測試儀采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新技術(shù),將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換，在計(jì)算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測量，能自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測量結(jié)果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對(duì)幾何因素的影響進(jìn)行動(dòng)態(tài)的自動(dòng)修正，因此顯著降低了幾何因素影響，從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些，用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所的儀器是無法實(shí)現(xiàn)的。

GR-RTS-5型雙電測四探針軟件測試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項(xiàng)測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對(duì)測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。     測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析 技術(shù)參數(shù)：  測量范圍  電阻率：0.001～200Ω.cm(可擴(kuò)展)；    方塊電阻：0.01～2000Ω/□(可擴(kuò)展)；  電導(dǎo)率：0.005～1000 s/cm；  電阻：0.001～200Ω.cm； 可測晶片厚度  ≤3mm 可測晶片直徑  140mmX150mm(配S-2A型測試臺(tái))；  200mmX200mm(配S-2B型測試臺(tái))；  400mmX500mm(配S-2C型測試臺(tái))； 恒流源  電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào) 數(shù)字電壓表  量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　  分辨力：10μV；  輸入阻抗：>1000MΩ；  精度：±0.1% ；  顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動(dòng)顯示； 四探針探頭基本指標(biāo)  間距：1±0.01mm；  針間絕緣電阻：≥1000MΩ；  機(jī)械游移率：≤0.3%；  探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；  探針壓力：5～16 牛頓(總力)； 四探針探頭應(yīng)用參數(shù)  (見探頭附帶的合格證) 模擬電阻測量相對(duì)誤差 ( 按JJG508-87進(jìn)行)  0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 整機(jī)測量大相對(duì)誤差 (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±4% 整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度  ≤4% 計(jì)算機(jī)通訊接口  并口 標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境  溫度：23±2℃；  相對(duì)濕度：≤65%；  無高頻干擾；  無強(qiáng)光直射；